uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作，保證傳感器的高度一致，解決了：“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)無(wú)法保證其傳感器的電阻值的一致性，導(dǎo)致傳感器在各個(gè)法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異，所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)在傳感器校準(zhǔn)和使用過(guò)程中產(chǎn)品穩(wěn)大定性存在問(wèn)題，實(shí)際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計(jì)價(jià)格昂貴，大規(guī)模應(yīng)用比較難”的問(wèn)題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計(jì)，同時(shí)可靠性穩(wěn)定,安全性更好。
在芯片上，一個(gè)微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的特有工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo)，使動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間大大提高。當(dāng)傳感器工作時(shí)，微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差（通常是70℃），在芯片周圍形成固定的溫度場(chǎng)分布。如果氣體是單向流動(dòng)，則在氣道中溫度場(chǎng)可用下述公式來(lái)計(jì)算：
  
式中：氣體流動(dòng)方向?yàn)椋�，速度為ｖ，ａ為擴(kuò)散率。
如上圖（式）所示，當(dāng)氣體流過(guò)芯片時(shí)，將會(huì)帶走熱量，通過(guò)質(zhì)量流量qm和電壓V的對(duì)應(yīng)關(guān)系來(lái)計(jì)算流體的質(zhì)量流量。

1.產(chǎn)品集成度高，集瞬間流量顯示、累計(jì)流量顯示和信號(hào)輸出一體，并可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)、控制閥門。
2.μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù)，使流量計(jì)的微流量測(cè)量靈敏度顯著提升。
3.微小流量氣體測(cè)量，ml/min級(jí)的微流量測(cè)控，實(shí)現(xiàn)微小流量測(cè)量的數(shù)字化。
4.單個(gè)芯片的卓越流量特性的微處理技術(shù)，使流量計(jì)的量程范圍大大提高。
5.機(jī)電一體化優(yōu)化設(shè)計(jì)，智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù)，使流量計(jì)具有更好的重復(fù)性，實(shí)現(xiàn)了計(jì)量的準(zhǔn)確、可靠。
5.結(jié)構(gòu)的優(yōu)化，MFM流量計(jì)的壓力損失達(dá)到最小化。
6.采用新的MF傳感技術(shù)，使流量計(jì)工作更穩(wěn)定、可靠。
7.獨(dú)創(chuàng)零點(diǎn)自校功能，測(cè)量更準(zhǔn)確。
8.多種氣體實(shí)際標(biāo)定，全量程補(bǔ)償。
9.快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ)，配合上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理。
10.規(guī)格齊全，量程范圍寬，可根據(jù)用戶要求單獨(dú)標(biāo)定。
11.精度等級(jí)高，滿足用戶高精度測(cè)量要求。
12.獨(dú)有的流量計(jì)報(bào)警功能，使監(jiān)控更可靠。
13.操作、設(shè)置界面友好、簡(jiǎn)便，可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)。
14.運(yùn)用行業(yè)多，是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級(jí)換代的首選。